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合成法生产电子级氯化氢

时间:2021-06-18 09:23:15点击:

    无水氯化氢是一种无色气体,在潮湿的空气中会强烈冒烟。对人体皮肤刺激性强,有令人窒息的刺鼻气味。电子级氯化氢主要用于外延生长前硅和砷化镓的高温气相刻蚀,去除钠离子。此外,高纯氯化氢还用于金属表面的化学处理、激光混合气体、制膜和碳纤维表面处理。接下来我们看下用合成法生成电子级氯化氢。

    反应原理:氯气和氢气在合成炉中燃烧反应产生的氯化氢气体是80年代初为适应我国电子工业的快速发展而提出的。它技术先进。来自合成炉的氯化氢气体常经低温干燥吸附净化,低温低压冷凝,排除不凝性气体杂质,以液态装瓶。

    在氯和氢的合成中,氢的过量约为5%,氯化氢气体中的氢含量高,因此用间歇蒸馏装置除去氢。此外,原料氢气通过钯膜扩散净化,生产规模有限。发生法和解吸法的生产规模比较大。