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高纯氯化氢常见的制备方法

时间:2022-02-12 15:21:44点击:

电子级氯化氢在我们生活的各个领域中具有广泛的应用前景,它不仅是电子工业中制造大规模集成电路所需的重要材料之一,而且应用于医药、化工、半导体行业,因此需求量越来越大。

随着微电子工业向着大尺寸、高集成化、高均匀性和高完整性方向的飞速发展,对广泛用于单晶硅气相抛光和外延机座腐蚀的电子级氯化氢也有了新的要求。除了应具有99.999%以上的纯度,还要求氯化氢的THC、H2O和金属离子等有机杂质的含量越低越好。

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目前已有研究人在研究制备过程中成功合成了电子级氯化氢,同时从这些合成方法中发现解析法和盐酸脱析法制备氯化氢工艺简单课大规模生产,但是制备的氯化氢纯度偏低,越来越不满足电子工业,尤其是集成电路的要求。合成法生产氯化氢的纯度偏高,但其中水量高,腐蚀严重,对设备要求高,生产成本高。考虑到环保以及工业副产品回收利用等多方面因素,制备高纯氯化氢合成是必然的发展趋势,正如石油化工副产物氯化氢提纯法,此提纯法无需外加反应介质,因而避免了其它杂质介质的引入,而且操作简单,生产成本低,但是在我国技术还不太成熟。我国的电子级氯化氢产品大多从美,日等国进口,价格昂贵。因此我们需要进一步研究与完善电子级氯化氢的合成工艺,给我国带来一定可观的社会效应和经济效益。